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射频功率：13.56MHz，300W（标配），可选500W升级电极配置：直径240mm平行极板，间距可调（10-80mm）等离子体密度：1×10¹⁰-1×10¹² ions/cm³晶圆尺寸：最大8英寸（20···

晶圆尺寸：8英寸（200mm），兼容6英寸及以下基板腔室结构：单腔或多腔集群设计，集成刻蚀（Etch）与剥离（Ash）模块真空系统：Alcatel ATH-1300M或Seiko Seiki STP-H1303涡···

晶圆尺寸：8英寸（200mm），兼容SNNF（Single Notch No Flat）晶圆形态。射频系统：源射频：13.56MHz，最大功率3000W（控制等离子体密度）。偏置射频：13.56MHz，最大功率1···

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