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电子束分辨率：≤4nm（加速电压1kV时），确保亚微米级结构成像精度。加速电压：0.4-1.5kV可调，低电压模式（≤500V）可减少光刻胶损伤。电子枪类型：肖特基场发射电子枪（S···

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