1. 材料选择与处理

1.1 材料类型

1.1.1 铝合金（6061/5052）

• 特性：轻量化、耐腐蚀

• 处理要求：阳极氧化增强表面硬度

1.1.2 不锈钢（304/316L）

• 特性：高强度、耐化学腐蚀

• 典型应用：真空腔体支架等关键部件

1.1.3 特殊涂层材料

• 防静电涂层（ESD）：表面电阻10⁴~10⁹Ω

• PTFE涂层：抗粘附，减少颗粒污染

1.2 洁净度控制

1.2.1 标准要求：符合SEMI F72（低析气、低颗粒脱落）
1.2.2 禁用元素：避免含硅、钠等污染元素

2. 精密加工工艺

2.1 切割技术

2.1.1 激光切割

• 精度：±0.05mm

• 保护措施：氮气防氧化

2.1.2 水刀切割

• 适用场景：厚度＞10mm板材

• 优势：无热变形

2.2 折弯与成型

2.2.1 工艺要求

• 角度公差：±0.5°

• 回弹补偿：有限元模拟优化

2.2.2 设备要求

• 伺服电动折弯机

• 防污染措施

2.3 焊接工艺

2.3.1 氩弧焊（TIG）

• 应用：高密封性焊接（真空腔体）

2.3.2 激光焊接

• 优势：热影响区小

• 后处理要求：消除应力

3. 表面处理关键

3.1 阳极氧化

3.1.1 参数要求

• 膜厚：20-25μm

• 硬度：≥HV800

3.1.2 后处理

• 封闭处理：减少微孔吸附

3.2 电解抛光（EP）

3.2.1 适用材料：不锈钢件
3.2.2 效果：Ra≤0.4μm

3.3 清洁工艺

3.3.1 流程

• 超声波清洗

• 去离子水冲洗

3.3.2 洁净标准：Class 100（ISO 5级）

4. 公差与形位控制

4.1 尺寸公差

4.1.1 关键孔位：±0.05mm
4.1.2 平面度：≤0.1mm/m²

4.2 形位公差

4.2.1 平行度/垂直度：≤0.05mm
4.2.2 孔组位置度：±0.02mm

5. 功能性验证

5.1 防静电测试

5.1.1 标准：ESD
5.1.2 参数：10⁴~10⁹Ω

5.2 振动测试

5.2.1 标准：SEMI F47
5.2.2 要求：频率≥5Hz，振幅≤50μm

5.3 洁净度测试

5.3.1 颗粒控制：≤5颗粒/ft³（0.3μm）

6. 行业特殊要求

6.1 SEMI标准合规

6.1.1 安全标准：SEMI S2
6.1.2 抗震标准：SEMI F47
6.1.3 认证文件：RoHS/REACH

6.2 无尘室装配

6.2.1 环境等级：≥Class 1000（ISO 6级）
6.2.2 人员防护：专用防尘服